特許
J-GLOBAL ID：200903047341299561
クリーンルームの清浄度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111832
公開番号（公開出願番号）：特開平5-306988
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】作業者の影響を除去でき、且つ、製品がさらされる雰囲気の清浄度を測定できるようにする。【構成】クリーンルーム内で稼働するウエハ自動搬送台車1にパーティクル測定装置6を搭載し、そして、その吸引チューブ7の吸引口7aを、ウエハ格納カセット5の真下(風下)に位置させる。【効果】ウエハ格納カセット5がさらされた空気がパーティクル測定装置6内に吸引されるため、製品としてのウエハがさらされた雰囲気の清浄度を測定することができる。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸引した空気に含まれる微粒子の量を測定して前記クリーンルームの清浄度を測定する装置であって、空気の吸引口を、前記クリーンルーム内で稼働する自動走行車に取り付けたことを特徴とするクリーンルームの清浄度測定装置。
IPC (2件)：
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