液晶表示パネルおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088869
公開番号（公開出願番号）：特開平6-301060
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】本発明は、液晶表示パネルおよびその製造方法に関し、特に、そのMIM型非線形素子のスイッチング動作の高性能化及び安定化を目的とする。【構成】絶縁性基板に形成されたMIM型非線形素子において、その第1金属電極層はアルミニウムとタンタルのを主成分とし、さらに添加物としてクロム、モリブデン、タングステン、マンガン、レニウムを単独、または複数種類含む合金からなり、その酸化膜は酸化アルミニウムと酸化タンタルの混合酸化物を主成分とし、さらに添加物としてクロム、モリブデン、タングステン、マンガン、レニウムの酸化物を単独、または複数種類含む酸化膜であることを特徴とする液晶表示パネル。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板に形成されたマトリクスアレイの各画素領域には、その駆動回路側に導電接続する第1の金属電極層と、この金属電極層表面に形成された酸化膜と、この酸化膜の表面に形成された第2の金属電極層と、によってMIM型非線形素子が構成されており、その酸化膜は酸化アルミニウムと酸化タンタルの混合酸化膜からなることを特徴とする液晶表示パネル。

IPC (2件)：

G02F 1/136 510 , H01L 49/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-035223
特開平2-093433
特開平3-035223

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