特許

J-GLOBAL ID：200903047347899102

フォトレジスト用現像液

発明者： 高橋 建太 ,  肥田野 学 ,  淡路 明
出願人/特許権者： シプレイ・ファーイースト株式会社
代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-127331
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319606
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 消泡性に優れかつ濡れ性が良好である、現像不良の解消に有効なフォトレジスト用現像液の提供。【解決手段】 ポリプロピレンオキシド基とポリエチレンオキシド基とからなるABA型ブロック共重合体を含有するフォトレジスト用現像液。

請求項（抜粋）：

1)水;2)アルカリ物質;および3)式(I):HO-B1 -A-B2 -H (I)(式中、Aはポリプロピレンオキシド基であり、B1 およびB2 はポリエチレンオキシド基である)で示される、平均分子量が900〜4,000であり、平均分子量を基準としてポリエチレンオキシド基が5〜55重量%含まれる化合物、または式(II):HO-A1 -B-A2 -H (II)(式中、A1 およびA2 はポリプロピレンオキシド基であり、また、Bはポリエチレンオキシド基である)で示される、平均分子量が1,000〜4,000であり、平均分子量を基準としてポリエチレンオキシド基が5〜55重量%含まれる化合物を含有することを特徴とするフォトレジスト用現像液

IPC (2件)：

G03F 7/32 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/32 ,  H01L 21/30 569 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-129250
  
• 特開昭60-111246
  
• 特開昭63-228144