特許
J-GLOBAL ID：200903047359104687
IC試験装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-204370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055879
出願日： 1993年08月19日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 IC試験装置に関し, 測定治具やクランパ等の寸法精度に依存しないで, 測定治具の接触子が常に適切なたわみ量を得られるようにする。【構成】 リードを測定治具 3の接触子上に載せたICを押圧するエアシリンダ 1と, 該エアシリンダに供給する圧気圧を電気信号に応じて変化させるレギュレータ 7と,該圧気圧を検出する圧力センサ 8と,該圧力センサからの検出値を電気信号に変え該レギュレータに帰還して該圧気圧を設定値に保つ手段とを有するコンタクト機構を具備する
請求項（抜粋）：
リードを測定治具(3)の接触子上に載せたICを押圧するエアシリンダ(1) と, 該エアシリンダに供給する圧気圧を電気信号に応じて変化させるレギュレータ(7) と,該圧気圧を検出する圧力センサ(8) と,該圧力センサからの検出値を電気信号に変え該レギュレータに帰還して該圧気圧を設定値に保つ手段とを有するコンタクト機構を具備することを特徴とするIC試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
