イオン生成方法およびイオン生成装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：高柴忠夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-291137
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100297
出願日： 2000年09月25日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】清浄なイオンを導出することができるイオン生成装置を得る。【解決手段】イオン導出部20が、イオン通路21を横切ってイオン発生室10側から順に、前記イオン発生室で発生したイオンと同じ極性を有する第1電極22と、当該イオンとは逆の極性を有する第2電極23と、前記第1電極と第2の極との中間の電位を有する第3電極24とを備え、前記第1ないし第3電極にはそれぞれイオン通路21となる同軸的な開口が形成されている。

請求項（抜粋）：

イオンを、イオン通路に沿って発生源側から順次、当該イオンと同じ極性を有する第1の電界、当該イオンとは逆の極性を有する第2の電界、および前記第1の電界と第2の電界との中間の電位を有する第3の電界を通過させて導出することを特徴とするイオン生成方法。

IPC (5件)：

H01J 27/02 , G21K 5/04 , H01J 27/16 , H01J 37/08 , H01L 21/3065

FI (5件)：

H01J 27/02 , G21K 5/04 A , H01J 27/16 , H01J 37/08 , H01L 21/302 D

Fターム (9件)：

5C030DD02 , 5C030DE04 , 5C030DG09 , 5F004AA14 , 5F004BA11 , 5F004BB12 , 5F004BB14 , 5F004DA23 , 5F004EA38

引用特許：

審査官引用 (8件)

イオン源
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-222282 出願人：日新電機株式会社
特開平2-204941
電子ビーム露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101233 出願人：キヤノン株式会社

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