特許

J-GLOBAL ID：200903047363474120

ワークのチャックホイル機構及びポリッシング装置及び洗浄装置

発明者： 吉田 正夫 ,  阿藤 浩司 ,  及川 文利
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-237759
公開番号（公開出願番号）：特開平11-058226
出願日： 1997年08月18日
公開日（公表日）： 1999年03月02日
要約：

【要約】【課題】 回転時に生じる気流を所定の方向に向かせることのできるワークのチャックホイル機構を提供する。【解決手段】 回転駆動軸10から複数本のアーム11を放射状に突出し、アーム11にそれぞれ設けたチャック部13にて半導体ウエハwfの外周を把持して旋回する構造である。アーム11とチャック部13は、アーム11の旋回時に生じる気流がチャックホイル機構の外部からチャック部13を通して回転中心側に吸い寄せられた後にアーム11を通して下方に向かうダウンフローを生じるような翼形状に形成されている。

請求項（抜粋）：

回転駆動軸から複数本のアームを放射状に突出し、該アームにそれぞれ設けたチャック部にてワークを把持して旋回せしめる構造のチャックホイル機構において、前記複数本のアームの内少なくとも1つは、該アームの旋回時に生じる気流がアームを通して下方に向かうダウンフローを生じる形状に形成されていることを特徴とするワークのチャックホイル機構。

IPC (4件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351

FI (4件)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 A ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 351 S