特許
J-GLOBAL ID：200903047366691563
X線応力測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 英彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214769
公開番号（公開出願番号）：特開平11-051786
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 X線応力測定方法において、被測定物の深さ方向の応力分布の分解能を向上させること。【解決手段】 X線15を被測定物3に照射して、該被測定物3により回折したX線16を検出することにより、該被測定物3の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物3の応力を推定するX線応力測定において、逐次前記回折角θを変化させて、複数の前記回折角θにおける前記被測定物3の結晶格子歪みを検出し、該被測定物3の結晶格子歪みに対応した該被測定物3の応力を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
請求項（抜粋）：
X線を被測定物に照射して、該被測定物により回折したX線を検出することにより、該被測定物の結晶格子歪みを検出することにより該被測定物の応力を推定するX線応力測定において、逐次前記回折角を変化させて、複数の前記回折角における前記被測定物の結晶格子歪みを検出し、該被測定物の結晶格子歪みに対応した該被測定物の応力を推定することを特徴とするX線応力測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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