縦型超格子の形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168864
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013317
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】ヘテロ界面に揺らぎ等のない良好な形状の縦型超格子を形成することのできる縦型超格子の形成方法を提供する。【構成】真空チャンバ10内には、ヒータ11を備えた基板保持用ホルダ12が配設されている。また、この基板保持用ホルダ12に向けて、複数のガス供給ノズル13が設けられており、基板保持用ホルダ12は、ガス供給ノズル13に対する基板1の角度αが、5乃至45度となるように基板1を保持するよう構成されている。ガス供給ノズル13が配設されたガス供給配管14には、それぞれ0.1ミリ秒程度のタイミングで高速開閉動作可能な高速バルブ15が介挿されている。高速バルブ15の開閉動作を繰り返して行うことにより、ガスをパルス状にして供給する。

請求項（抜粋）：

結晶の特異面から数度傾いた段差基板面を有する基板を真空チャンバ内に配設して加熱するとともに、前記基板に対向する如く、少なくとも第1のガスを供給する第1のガス供給機構の供給口と、第2のガスを供給する第2のガス供給機構の供給口を配設し、これらの供給口から交互に第1および第2のガスを複数回供給して前記基板面に縦型超格子を形成するにあたり、前記基板を、前記供給口に対して正体した状態から傾けて配設するとともに、前記第1および第2のガス供給機構に高速開閉可能なバルブ機構を設け、1回の前記第1および第2のガス供給を、前記バルブ機構の開閉を複数回繰り返すことによってパルス状に行うことを特徴とする縦型超格子の形成方法。

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