特許
J-GLOBAL ID：200903047382278412
ワイヤ式切断加工装置におけるウエハの隙間維持装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牛久 健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017634
公開番号（公開出願番号）：特開平11-198017
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月27日
要約：
【要約】【目的】 ワーク(被切断材)3を切断するときにウエハ3aが互いにくっつくのを防止する。【構成】 ワイヤ式切断装置(ワイヤソー)において,ワーク3の材質よりも柔らかい隙間保持体10を,ワーク3の送り方向に動くように配置する。ワーク3が送られながら切断され,ウエハ3aが生成されると,ウエハ3aの先端が隙間保持体10の表面部分に食い込む。ウエハ3aの間の隙間4に隙間保持体10の表面部分の一部10aが入りこむので,ウエハ3aの隙間4が維持される。隣接するウエハ3aがくっつくのを防止できる。
請求項（抜粋）：
複数の平行に配置された溝ロールに切断用ワイヤを掛け,少なくとも一つの溝ロールを回転駆動することにより切断用ワイヤを走行させ,走行する切断用ワイヤに被切断材を送り込みながら切断箇所付近に砥粒を含む加工液を供給して被切断材をウエハ状にスライスするワイヤ式切断加工装置において,上記切断用ワイヤによってスライスされつつあるウエハの先端部を押し当てると表面部分が変形し,ウエハの間の隙間に表面部分の一部が入り込む隙間保持体,および上記隙間保持体を,被切断材の送り方向に対向するように付勢しながら上記被切断材の送りに応じて送り方向に動くように支持する支持機構,を備えたワイヤ式切断加工装置におけるウエハの隙間維持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
