特許
J-GLOBAL ID：200903047385059290
プローブの制御装置、該プローブの制御装置を有する近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-294537
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132711
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】プローブの共振周波数を光干渉方式または光てこを用いずに検出することで、SNOMの検出信号のS/N比を向上させることが可能となり、またサンプルと光プローブの先端を非接触に制御してプローブの先端を保護することが可能となる光プローブの制御装置、該光プローブの制御装置を有する近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】サンプルに対してプローブの先端を非接触に制御し、サンプル表面へ滲み出すエバネッセント光を検出する光プローブの制御装置において、前記プローブが有する共振周波数を、プローブ先端またはサンプル表面に発生したエバネッセント光の散乱光強度の変化を検出することによって検出する手段を有する構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サンプルに対してプローブの先端を非接触に制御し、サンプル表面へ滲み出すエバネッセント光を検出する光プローブの制御装置において、
前記プローブが有する共振周波数を、プローブ先端またはサンプル表面に発生したエバネッセント光の散乱光強度の変化を検出することによって検出する手段を有することを特徴とする光プローブの制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/14 B
, G12B1/00 601C
