特許
J-GLOBAL ID：200903047386300846

水晶振動子及びその製造方法

発明者：
松戸 秀亮

松戸 秀亮 について


出願人/特許権者：
日本電波工業株式会社

日本電波工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011886
公開番号（公開出願番号）：特開2001-203559
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【目的】、振動特性を良好にした両主面に溝を有する水晶振動子及びその製造方法を提供する。【構成】結晶軸(XY’Z’)のY’軸を深さとした第1及び第2の溝を水晶片の両主面に備え、前記第1及び第2の溝の少なくともZ面に相当する壁面が前記Y’軸からθ度傾斜した水晶振動子において、前記第1の溝底面の輪郭のうちZ’軸上の両端に位置する輪郭点が前記第2の溝底面の輪郭のうちZ’軸上の両端に位置する輪郭点に一致する方向に、前記第1及び第2の溝開口面の中心が互いに反対方向のZ’軸方向にずれて異なる構成とする。また、水晶片の両主面にマスクを設けて結晶軸(XY’Z’)のY’軸を深さとした第1の溝を一方の主面に第2の溝を他方の主面にエッチングによって形成し、前記第1及び第2の溝の少なくともZ面に相当する壁面が前記Y’軸からθ度傾斜した水晶振動子の製造方法において、前記両主面のマスクによる非遮蔽部の中心を互いに反対方向のZ’軸方向にずらした製造方法とする。
請求項（抜粋）：
結晶軸(XY’Z’)のY’軸を深さとした第1及び第2の溝を水晶片の両主面に備え、前記第1及び第2の溝の少なくともZ面に相当する壁面が前記Y’軸からθ度傾斜した水晶振動子において、前記第1の溝底面の輪郭のうちZ’軸上の両端に位置する輪郭点が前記第2の溝底面の輪郭のうちZ’軸上の両端に位置する輪郭点に一致する方向に、前記第1及び第2の溝開口面の中心が互いに反対方向のZ’軸方向にずれて異なることを特徴とする水晶振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/19 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (4件)：
H03H 9/19 E ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
Fターム (6件)：
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108DD02 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • ATカット水晶振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-244911   出願人：株式会社明電舎
  • 特開平1-179513
  • 特開昭57-157616
審査官引用 (2件)
  • ATカット水晶振動子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-244911   出願人：株式会社明電舎
  • 特開平1-179513

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