特許
J-GLOBAL ID：200903047386502660
三次元微小構造物の製造方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191762
公開番号（公開出願番号）：特開2003-001599
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：
【要約】【課題】 加工時間の短縮化を図り、精度の向上を図ることができる三次元微小構造物の製造方法及びその装置を提供する。【解決手段】 光硬化樹脂に、この光硬化樹脂に吸収されない波長を有するフェムト秒パルスレーザー光9を集光照射し、二光子吸収により光硬化樹脂を光重合させて硬化させ、微小立体構造物を製造するのに、前記二光子吸収により、前記光硬化樹脂1の作製すべき微小立体構造物の外殻部分2を先に硬化させ、外殻の外の未硬化不要樹脂1を洗い流し、次いで外殻内部の未硬化樹脂4を光重合させ、この際、光ビームの走査は多項式で制御し、前記外殻をトレースする。
請求項（抜粋）：
光硬化樹脂に、該光硬化樹脂に吸収されない波長を有するフェムト秒パルスレーザー光を集光照射し、二光子吸収により前記光硬化樹脂を光重合させて硬化させ、微小立体構造物を製造する方法において、前記二光子吸収により、前記光硬化樹脂の作製すべき微小立体構造物の外殻部分を先に硬化させ、該外殻の外の未硬化不要樹脂を洗い流し、次いで前記外殻内部の未硬化樹脂を光重合させ、前記外殻をトレースすることを特徴とする三次元微小構造物の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
4F213AA44
, 4F213WA25
, 4F213WA97
, 4F213WL13
, 4F213WL43
, 4F213WL76
, 4F213WL92
, 4F213WL95
