特許

J-GLOBAL ID：200903047389427758

反射防止膜の製造方法

発明者： 屋良 卓也 ,  湯浅 基和 ,  新城 隆 ,  西村 善雄
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-070964
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133205
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 大気圧程度の圧力で、大量の溶剤を使用せずに、連続的にグロー放電を行って、透明ガラス、透明樹脂からなるフィルム、シート類、各種異形成形品の表面に経済的に反射防止膜を製造する方法、及び、該反射防止膜に光硬化性導電性組成物を適用して帯電防止性を有する反射防止膜を製造する方法を提供する。【解決手段】 有機フッ素化合物を含むガス雰囲気の大気圧近傍の圧力下で、対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマ処理を行って、基材上に含フッ素化合物からなる薄膜を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

有機フッ素化合物を含むガス雰囲気の大気圧近傍の圧力下で、対向電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該対向電極間にパルス化された電界を印加することにより放電プラズマ処理を行って、基材上に含フッ素化合物からなる薄膜を形成することを特徴とする反射防止膜の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 1/11 ,  C08J 7/00 306 ,  C08J 7/06

FI (3件)：

G02B 1/10 A ,  C08J 7/00 306 ,  C08J 7/06 Z