特許
J-GLOBAL ID:200903047396589160

酸 化 物 結 晶 製 造 用 ル ツ ボ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-311085
公開番号(公開出願番号):特開平6-135790
出願日: 1992年10月28日
公開日(公表日): 1994年05月17日
要約:
【要約】【目的】 融液中へ Fe 等の不純物が溶出し難く、得られる結晶の不純物の低い酸化物結晶育成用ルツボの提供を目的とする。【構成】 白金製のルツボ状成形基体の内側表面に、該基体表面より窒化チタン層を設け、該窒化チタン層の上に高純度白金層を設ける。【効果】 育成結晶中への Fe の混入量を著しく減少させることがでる。
請求項(抜粋):
白金製のルツボ状成形基体の内側表面に、該基体表面より窒化チタン層を設け、該窒化チタン層の上に高純度白金層を設けたことを特徴とする酸化物結晶製造用ルツボ。
IPC (3件):
C30B 15/10 ,  C30B 11/00 ,  C30B 13/14

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