特許

J-GLOBAL ID：200903047401827520

除振装置および半導体製造装置

発明者： 加藤 宏昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193651
公開番号（公開出願番号）：特開2001-020996
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】 除振台の変位を制御したことに起因する設置床から除振台への振動伝達を好適に防止できる除振装置およびこれを用いた半導体製造装置を提供する。【解決手段】 除振される除振台2と、装置の設置床7と除振台との相対変位を検出する変位センサ4と、この変位センサの出力をフィードバックして除振台の変位を制御する制御手段1、3、8、10、13とを備え、設置床の変位に基づいて変位センサの出力を補正する補正手段6、11を具備することを特徴とする除振装置。

請求項（抜粋）：

除振される除振台と、装置の設置床と前記除振台との相対変位を検出する変位センサと、この変位センサの出力をフィードバックして前記除振台の変位を制御する制御手段とを備え、前記設置床の変位に基づいて前記変位センサの出力を補正する補正手段を具備することを特徴とする除振装置。

Fターム (7件)：

3J048AB08 ,  3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048AD02 ,  3J048BE02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA13