特許
J-GLOBAL ID：200903047405487154
位置検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321088
公開番号（公開出願番号）：特開平8-181053
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ用パターンの検出精度を高める。【構成】 抽出する候補画像が含まれている露光領域を撮像し、候補画像53のうち、その候補画像に近接して別のパターンが存在する部分53aや、エッジ部がぼけている部分など誤検出や検出精度不良を起こす原因となる部分に対してマスキングを施す。同時にテンプレート画像45の対応する部分45aに対してもマスキング施す。次いで、テンプレート画像と候補画像の非マスキング領域同士45bと53bを比較して相関値を求める。このように、誤検出や検出精度不良を起こす原因となる部分(マスキング領域)を予め比較対象から外しているので、正確な相関値を得ることができる。そして、この相関値が所定値以上の場合に、その候補画像を対応画像として抽出する。
請求項（抜粋）：
露光原板上に形成された原画パターンが転写された露光領域を有する感光基板上を撮像して得られる画像情報から基準となるテンプレートに関する画像情報に対応する情報を検出することにより、前記感光基板の位置を検出する方法において、前記露光領域を撮像し、その撮像画像から予め記憶されているテンプレート画像に相当する対応画像を抽出するに際して、前記テンプレート画像の一部にマスキングを施すとともに、前記対応画像の候補として挙げられた候補画像のうち前記テンプレート画像のマスキング部分に対応する部分に対してもマスキングを施し、前記テンプレート画像の非マスキング領域と前記候補画像の非マスキング領域とを比較して非マスキング領域同士の相関値を求め、その相関値が所定値以上の場合に前記候補画像を前記対応画像として抽出することを特徴とする、位置検出方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 516 A
, H01L 21/30 514 A
, H01L 21/30 514 E
, H01L 21/30 525 W
