透過型電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230607
公開番号（公開出願番号）：特開2001-057170
出願日： 1999年08月17日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】常に試料の傾斜や回転の状態を正確に把握することができる透過型電子顕微鏡を実現する。【解決手段】試料1を傾斜させる場合、電子顕微鏡本体制御系7からの制御により、試料傾斜・回転機構2が駆動される。この結果、試料1は任意の方向に所定量傾斜させられる。この傾斜の方向(向き)等の情報は、電子顕微鏡本体制御系7から表示制御回路5に供給される。表示制御回路5内のグラフィック表示CPUは、傾斜情報に基づいて傾斜軸をグラフィック表示するための信号を作成し、TVカメラ4によって得られた画像データと共に陰極線管6に供給する。この結果、陰極線管6には試料像と共に傾斜軸8が表示される。このとき、傾斜軸8の上半分は白、下半分は赤色で表示される。この赤色での表示が傾斜の向きを示すもので、赤色の方向、すなわち画面上で下側(正の方向)に試料1が傾斜されていることが、この表示により直ちに判断することができる。

請求項（抜粋）：

試料に電子ビームを照射し、試料を透過した電子ビームを結像し、試料像を得るようにした透過型電子顕微鏡において、試料を傾斜させる機構を有し、試料傾斜機構による試料傾斜情報に基づいて試料の傾斜の向きをグラフィック表示する手段を備えた透過型電子顕微鏡。

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭50-068265
特開昭60-039749
電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-236955 出願人：株式会社日立製作所

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