特許
J-GLOBAL ID：200903047412682094
表面性状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358884
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190607
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 検出器移動の真直度を高精度化すると共に、測定精度を安定させつつ、低コスト化を図る。【解決手段】 検出器200を測定表面に沿って進退させるための駆動部100のフレーム102に、検出器進退方向と平行にメインシャフト104を固定し、該メインシャフト104上を、検出器進退方向に長い略O字状とされ、その前後端2箇所に前記メインシャフト104が挿通するようにされたスライドブロック108を滑動させる。
請求項（抜粋）：
表面性状測定用の触針を備えた検出器と、該検出器を測定表面に沿って進退させるための駆動部を含む表面性状測定機において、前記駆動部のフレームに、検出器進退方向と平行に固定された柱状ガイドと、該柱状ガイド上を滑動する、検出器進退方向に長く、少なくとも前後2個所で該柱状ガイドの少なくとも1本と係合するようにされた滑動部材と、該滑動部材を、前記柱状ガイドに沿って進退させるための駆動手段とを備え、前記滑動部材に検出器を取り付けるようにしたことを特徴とする表面性状測定機。
IPC (2件)：
G01B 7/34 102
, G01B 21/30 102
G01B 7/34 102 B
, G01B 21/30 102
