特許
J-GLOBAL ID：200903047414023144
光ディスク外観欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加古 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-072773
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266683
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】クリアディスクでも欠陥を検出できる光ディスク外観欠陥検出装置【解決手段】光源220からの光を集光レンズ222で集光する。集光した光をピンホール224を通過させ、ディスク半径を視野する高性能の、大型コリメート・レンズ226を通して平行光に生成する。この平行光をビーム・スプリッター214において90°光路を変更して、検査ディスク230のディスク表面に照射する。ディスク230からの反射光は、レンズ系212を通過し、カメラ210に入光する。カメラ210により欠陥を検出する。照射された、平行光は、高さ10nm〜、大きさ25μ程度の微細欠陥でも、拡散光となり、欠陥受光像のグレイレベルはS/Nよく変化するので、光ディスクの微細な欠陥を検出することが可能となる。
請求項（抜粋）：
検査対象の光ディスクの外観を検査して欠陥を発見するための光ディスク外観欠陥検査装置において、光源と、前記光源の光を平行光線として、前記光ディスクに垂直に入射するようにするレンズ系と、前記光ディスクから垂直に反射する光を受光するカメラと、前記カメラからの画像により前記光ディスクの欠陥の認識を行う制御部とを備えることを特徴とする光ディスク外観欠陥検査装置。
Fターム (14件)：
2G051AA71
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BA20
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051DA03
, 2G051DA08
, 2G051DA13
, 2G051EA25
, 2G051EC01
, 2G051FA10
