特許

J-GLOBAL ID：200903047416168263

表面検査装置および方法

発明者： 大重 貴彦 ,  上杉 満昭
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126612
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314707
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 点状の疵、被検査体の幅方向に長い疵、被検査体の長さ方向に長い疵のいずれをも検出できる装置及び方法を提供する。【解決手段】 検出ヘッド3中には、光源4が設けられ、鋼板1の表面に、可視域の波長の平行光を入射角θが90度近くの大きな角度で照射している。鋼板1の表面で反射された光は、半透明のスクリーン6上に像を結ぶ。その像をスクリーン6の背面から2次元カメラ(CCDカメラ等)7で撮像し、信号処理装置8で画像処理を行うことにより凹凸性疵を検出する。鋼板1への照射光の入射方向は、鋼板1の長手方向と幅方向の中間方向とされている。よって、点状の疵、被検査体の幅方向に長い疵、被検査体の長さ方向に長い疵のいずれをも検出できる。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面に所定の入射角で光を照射する光源と、被検査体の表面により反射された光を検出する検出系とを有し、反射された光量の変化から微小凹凸性疵を検出する表面検査装置であって、光源からの光の照射方向が、被検査体の幅に沿った方向と長手に沿った方向の中間の方向とされ、照射光の波長に対する照射光の入射角の余弦の値の比が、前記被検体の表面粗さから決定される所定の値以下となるように、前記波長若しくは前記入射角の一方、又は両方が選定されていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/55

FI (2件)：

G01N 21/89 610 B ,  G01N 21/55

Fターム (30件)：

2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BC02 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059CC20 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG07 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09