圧力センサとそれを用いた複合センサ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-191873
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196525
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】本発明はシリコンの異方性エッチングを用いて形成する圧力センサに関し、耐圧の高いセンサ構造及びその製造方法を提供する。また、差圧センサ,静圧センサ及び温度センサを同一基板内に集積した小型の複合センサを提供する。【構成】中心剛体部付きの圧力センサ用ダイアフラムにおいて、中心剛体部の形状を8角形以上の多角形とし、ダイアフラムの外形を8角形とすることによって達成される。【効果】ダイアフラムの耐圧及びセンサの台との接着強度を向上できるので、信頼性に優れたセンサ及びセンサを用いたシステムを提供できる効果がある。また、チップサイズが小さく高信頼性の複合センサを提供できる効果もある。

請求項（抜粋）：

中心剛体部付きのダイアフラムとこれを周囲から支持する支持部とからなり、前記ダイアフラムの薄肉部に歪-抵抗素子を配置し、前記歪-抵抗素子の抵抗変化から、前記ダイアフラムの両面に印加される圧力の差を検出する圧力センサにおいて、前記中心剛体部の形状は5角形以上の多角形であることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-062534
特開平1-266769
特開昭58-062534

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