有機層蒸着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-121952
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007464
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：

【要約】【課題】有機発光デバイス製造用の有機層蒸着装置を改良すること。【解決手段】 a)チャンバを画定するハウジングを含み、b)チャンバ内に被蒸着構造体から隔離して配置された管状熱物理蒸着源を含み、c)管状物理蒸着源はキャビティの内部にまで延在するライン状開口部を画定し、ライン状開口部は、気化した有機材料が蒸着ゾーン内の構造体の上に堆積するように配置されており、d)有機材料に制御された速度で蒸気を形成させるために管状蒸着源を制御可能に加熱するための手段を含み、蒸気は、キャビティ中の全体に分布し、かつ、キャビティからライン状開口部を通して制御された速度で出ていき、そしてe)蒸着ゾーン内の有機材料蒸気が構造体の上に厚さの均一な蒸着有機層を形成するように管状蒸着源と構造体との間に相対線形移動を提供するための手段を含むことを特徴とする有機層蒸着装置。

請求項（抜粋）：

有機発光デバイスの一部を提供する構造体の上に有機層を蒸着するための装置であって、a)チャンバを画定するハウジング、及び該チャンバに連結された、該チャンバの内部を減圧するためのポンプを含み、該構造体は該チャンバ内の蒸着ゾーンに配置され、b)該チャンバ内に該構造体から隔離して配置された管状熱物理蒸着源を含み、該蒸着源は気化すべき有機材料を受容するためのキャビティを画定し、該有機材料の蒸気圧は該チャンバ内の減圧よりも実質的に高く、c)該管状物理蒸着源は該キャビティの内部にまで延在するライン状開口部を画定し、該ライン状開口部は、気化した有機材料が該蒸着ゾーン内の該構造体の上に堆積するように配置されており、d)該有機材料に制御された速度で蒸気を形成させるために該管状蒸着源を制御可能に加熱するための手段を含み、該蒸気は、該キャビティ中の全体に分布し、かつ、該キャビティから該ライン状開口部を通して制御された速度で出ていき、そしてe)該蒸着ゾーン内の該有機材料蒸気が該構造体の上に厚さの均一な蒸着有機層を形成するように該管状蒸着源と該構造体との間に相対線形移動を提供するための手段を含む、ことを特徴とする装置。

IPC (4件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 , H05B 33/14

FI (4件)：

H05B 33/10 , C23C 14/12 , C23C 14/24 C , H05B 33/14 A

Fターム (11件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB18 , 4K029EA01 , 4K029EA02

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