特許

J-GLOBAL ID：200903047433602570

アクチュエータ

発明者： 與田 光宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-139605
公開番号（公開出願番号）：特開2007-307662
出願日： 2006年05月18日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

【課題】、小型化を図りつつ、高精度に質量部の挙動を検知し、質量部の挙動を所望のものとすることができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】本発明のアクチュエータ1は、弾性部(第1の弾性部26、27、第2の弾性部28、29)を捩れ変形させながら、質量部(第1の質量部21、22、第2の質量部25)を回動させるように構成されたものであって、第2の弾性部28、29は、その少なくとも一部に、第2の質量部25の回動中心軸Xに対し直角な方向成分をもって延在し、第2の弾性部28、29全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部281、282、291、292を備え、曲げ変形部281、282、291、292上に設けられたピエゾ抵抗素子41、42、43、44の抵抗値の変化に基づいて、第2の質量部25の挙動を検知する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの質量部と、 前記質量部を回動可能とするように支持する少なくとも1つの弾性部と、 前記質量部を回動駆動させるための駆動手段と、 前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段とを有し、 前記挙動検知手段の検知結果に基づいて、前記駆動手段を作動させることにより、前記弾性部を捩れ変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、 前記弾性部は、その少なくとも一部に、前記質量部の回動中心軸に対し直角な方向成分をもって延在し、前記弾性部全体の捩れ変形に伴って主として曲げ変形する曲げ変形部を備え、 前記挙動検知手段は、前記曲げ変形部上に設けられたピエゾ抵抗素子を備え、該ピエゾ抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて、前記質量部の挙動を検知するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (3件)：

B81B 3/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10

FI (3件)：

B81B3/00 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 104Z

Fターム (11件)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045DA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ガルバノミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-275845   出願人：株式会社リコー