特許
J-GLOBAL ID：200903047434171476
スルホニウム塩、光酸発生剤、光カチオン重合開始剤およびレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-255240
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：
【要約】【目的】 遠紫外光、エキシマレーザなどの放射線を用いたリソグラフィーおよび光カチオン重合において、高い感光性を示すスルホニウム塩を提供する。【構成】 一般式:【化1】(式中、R1〜R6のうち少なくともひとつがアルキル基、アリール基、アルコキシ基あるいはハロゲンであり、かつ残りが水素であり、X-が非求核性対イオンである。)で表されるスルホニウム塩。【効果】 これらのスルホニウム塩は、光の照射により酸を発生し、更にこの酸は触媒的に二次的な化学反応を起こすことが出来る。従って、エポキシなどの光カオチン重合の開始剤およびレジストの光酸発生剤として利用できる。
請求項（抜粋）：
下記の一般式:【化1】(式中、R1〜R6のうち少なくともひとつは、アルキル基、アリール基、アルコキシ基あるいはハロゲンであり、かつ残りは水素であり、X-は非求核性対イオンである。)で表されることを特徴とするスルホニウム塩。
IPC (2件)：
C07C381/12
, C08G 59/68 NKL
