カラーフィルターの製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280176
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127323
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】カラー液晶表示装置等に用いられるカラーフィルターの製造方法において、膜キズ欠陥を生じないよう画素層の硬度を向上させるカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】顔料分散型の感光性樹脂層を透明基板上に形成する工程と、前記感光性樹脂層に、所定のパターンを有するパターンマスクを介しパターン露光を行う工程と、前記パターン露光後に感光性樹脂層に現像を行い、所定のパターンに従い前記透明基板上に残留した感光性樹脂層を画素層とする現像工程と、現像工程後、画素層を形成した透明基板にベーキングを行う工程とを少なくとも有するカラーフィルターの製造方法において、前記現像工程後、画素層にポリアクリル酸水溶液を接触処理し、しかる後ベーキングを行うことにより、画素層の表面硬度を向上させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

請求項（抜粋）：

顔料分散型感光性樹脂層を透明基板上に形成する工程と、前記顔料分散型感光性樹脂層に、所定のパターンを有するパターンマスクを介しパターン露光を行う工程と、前記パターン露光後に顔料分散型感光性樹脂層に現像を行い、所定のパターンに従い前記透明基板上に残留した顔料分散型感光性樹脂層を画素層とする現像工程と、現像工程後、画素層を形成した透明基板にベーキングを行う工程とを少なくとも有するカラーフィルターの製造方法において、前記現像工程後、画素層にポリアクリル酸水溶液を接触処理し、しかる後ベーキングを行うことにより、画素層の表面硬度を向上させることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/033 , G03F 7/038 , G03F 7/40 501

FI (4件)：

G02B 5/20 101 , G03F 7/033 , G03F 7/038 , G03F 7/40 501

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