特許
J-GLOBAL ID：200903047436137496
グロー放電プラズマ発生用電極及びこの電極を用いた反応装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉山 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080268
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251198
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【構成】 プラズマ発生用気体の種類に応じて線径が0.01〜0.5mm太さの金属細線を用いて空隙率70%以下の体積に成形した金属細線電極2と該金属細線電極2に接して設けた誘電体によって構成する。該電極を大気圧以上の気圧の反応装置の気相内に誘電体を放電面側にして対向電極に等間隔で配置し、前記電極間に所定の電圧を印加しグロー放電を発生させる。反応装置に、前記電極2を少なくとも一方に設けたことにより、安定な大気圧グロー放電プラズマが目的ガスごとに得られた。【効果】 本発明の軽量且つ任意に形状が成形できるグロー放電プラズマ発生用電極を使用することにより、従来大気圧以上の気圧においてグロー放電を発生させることができなかったガスをも、高周波のみならず低周波においても均一且つ安定にグロー放電を発生させることができることから、各種必要に応じたガスの使用により、各種の処理を可能にした反応装置を提供することができる。
請求項（抜粋）：
大気圧以上の気圧の気相内に対向し、設置する電極として、プラズマ発生用気体の種類に応じて線径が0.01〜0.5mm太さの金属細線を用いて空隙率70%以下の体積に成形した金属細線電極と該金属細線電極に接して設けた誘電体によって構成され、誘電体を放電面側にして等間隔で配置したことを特徴とする大気圧グロー放電プラズマ発生用電極。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, B01D 53/32
, B01J 19/08
, C23C 16/50
, H01J 37/32
