特許

J-GLOBAL ID：200903047438593677

ナノメ-タ-或はサブナノメ-タ-領域における固体の表面による或は表面上での位置選択性接触化学反応を行う方法

発明者： ハーラルト、フクス ,  トーマス、シムメル
出願人/特許権者： ビーエーエスエフ アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 田代 烝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203495
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188298
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 ナノメ-タ-領域或は原子領域にいたる高い局所解像度で、表面による或は表面上での位置選択性接触化学反応を行う方法を提供することである。【構成】 ナノメ-タ-或はサブナノメ-タ-領域における固体の表面上で、触媒物質を含んでいる表面感応型走査プロ-ブを触媒として用いて、反応が行われている間、それを化学反応が起る表面部分の真上に配置することにより位置選択性接触化学反応を行わしめる。

請求項（抜粋）：

ナノメ-タ-或はサブナノメ-タ-領域における固体の表面による或は表面上での位置選択性接触化学反応を行う方法であって、触媒物質を含んでいる表面感応型走査プロ-ブを触媒として用いて、反応が行われている間、それを化学反応が起る表面部分の真上に配置することから成る方法。