特許
J-GLOBAL ID:200903047441593939

酸化物被覆炭化珪素材とその製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内田 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-017923
公開番号(公開出願番号):特開平7-277861
出願日: 1995年02月06日
公開日(公表日): 1995年10月24日
要約:
【要約】【目的】 ランタノイド系希土類元素酸化物含有被膜被覆炭化珪素材及びその製造方法並に同炭化珪素材の前駆体であるランタノイドシリサイド被覆炭化珪素材に関する。【構成】 ?@ シリサイドに表面が覆われた炭化珪素素材であって、シリサイドがランタノイド系希土類元素(但し、イットリウムを含む)の酸化物と炭化珪素との反応生成物またはランタノイド系希土類元素(但し、イットリウムを含む)と珪素との複合酸化物と炭化珪素との反応生成物であるランタノイドシリサイド被覆炭化珪素材及び?A 上記?@のランタノイドシリサイド被覆炭化珪素の表面に、ランタノイド系希土類元素(但しイットリウムを含む)の酸化物またはランタノイド系希土類元素(但し、イットリウムを含む)と珪素との複合酸化物で被覆したランタノイド系希土類元素酸化物含有被膜被覆炭化珪素材。
請求項(抜粋):
シリサイドに表面が覆われた炭化珪素素材であって、シリサイドがランタノイド系希土類元素(但し、イットリウムを含む)の酸化物と炭化珪素との反応生成物またはランタノイド系希土類元素(但し、イットリウムを含む)と珪素との複合酸化物と炭化珪素との反応生成物であることを特徴とするランタノイドシリサイド被覆炭化珪素材。
IPC (2件):
C04B 41/87 ,  C04B 41/89
引用特許:
審査官引用 (1件)

前のページに戻る