特許
J-GLOBAL ID：200903047441736705
リニアアクチュエータ及びステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-279502
公開番号（公開出願番号）：特開2000-116104
出願日： 1998年10月01日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 周囲への熱の伝達を低減しつつ、推力性能の向上を図る。【解決手段】 電機子ユニット24Aと磁極ユニット24Bとから構成されるリニアモータ24において、磁極ユニット24Bが発生する磁界内に配置される電機子ユニット24A内のコイルとして扁平コイル84Ai、84Bi(i=1〜N)を使用し、扁平コイル84Aiを棒状支持部材86A1、86A2で支持するとともに、扁平コイル84Biを棒状支持部材86B1、86B2で支持する。これにより、推力性能を向上するとともに、周囲環境や周囲部材への熱伝達を低減することができる。
請求項（抜粋）：
磁界発生ユニットと電機子ユニットとを備え、所定方向を駆動方向として、前記磁界発生ユニットと前記電機子ユニットとを相対駆動するリニアアクチュエータにおいて、前記電機子ユニットは、前記磁界発生ユニットが発生する磁界中に配置される、少なくとも1つの扁平コイルと;前記所定方向に延び、前記扁平コイルを前記所定方向に沿って支持する棒状支持部材とを備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。
Fターム (19件)：
5H641BB06
, 5H641BB19
, 5H641GG02
, 5H641GG05
, 5H641GG07
, 5H641GG10
, 5H641GG11
, 5H641GG12
, 5H641HH03
, 5H641HH05
, 5H641HH13
, 5H641HH14
, 5H641JA02
, 5H641JA09
, 5H641JA10
, 5H641JA13
, 5H641JA18
, 5H641JA19
, 5H641JB05
