特許

J-GLOBAL ID：200903047443133358

プラズマ処理室のビューポート用窓部材

発明者： 佐藤 和義 ,  中根 秀雄
出願人/特許権者： 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 菅原 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017950
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204294
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】プラズマ処理室のビューポート周りにおいて頻繁なクリーニングの実施による保守コストの増大を回避しつつ、しかも推積物による汚染を抑制して、プラズマ処理を適正に行わしめること。【解決手段】プラズマ処理室1の壁体3に取り付けられる本体21aと該本体から突出してビューポートV内に嵌合する突起21bとから窓部材を構成し、取付け状態において該突起を少なくともビューポートの内端まで延在させた。【作用】窓部材の突起が少なくともビューポートの内端まで延在しているので、ビューポートの部位においてプラズマ処理室の内壁面に凹部が無くなり、窓部材取付け部分へのプラズマ発光の集中がなくなる。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理室を画定する壁体のビューポート部位外側に取り付けられる型式であって、上記壁体に取り付けられる本体と該本体から突出してビューポート内に嵌合する突起とから形成され、かつ取付け状態において該突起が少なくともビューポートの内端まで延在していることを特徴とするプラズマ処理室のビューポート用窓部材。

IPC (4件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H05H 1/46 A ,  C23C 16/44 B ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/302 B