特許

J-GLOBAL ID：200903047461532847

合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法

発明者： 松浦 久雄 ,  勝部 淳 ,  飯島 正行 ,  高橋 善和
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社 ,  日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 松村 修治 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-338101
公開番号（公開出願番号）：特開平5-171415
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 真空中で2種以上の合成樹脂原料モノマーを蒸発させ、これを基体上で重合させて樹脂被膜を形成する方法において、希望通りの膜厚や膜質を再現性・安定性良く得ることのできる合成樹脂被膜の形成装置及び形成方法を提供することを目的とする。【構成】 原料モノマーの蒸発源ノズル5,6に、それぞれ開閉装置9,10と真空排気装置11,12を設置するとともに、この開閉装置9,10の開閉に関係なく、蒸発源容器7,8の内部を一定の真空度に保つことにより、基体3上には再現性・安定性良く同質の合成樹脂被膜が得られる。

請求項（抜粋）：

真空中で2種以上の合成樹脂原料モノマーを蒸発させ、これらを基体上で重合させて樹脂被膜を形成する装置において、各合成樹脂原料モノマーの蒸発源ノズルにそれぞれ開閉装置を設置するとともに、各合成樹脂原料モノマーの蒸発源容器にもそれぞれ真空排気装置を設置することを特徴とする合成樹脂被膜の形成装置。

IPC (5件)：

C23C 14/12 ,  C08G 18/32 NDT ,  C08G 73/10 NTF ,  C08G 85/00 NUY ,  C23C 14/24