特許

J-GLOBAL ID：200903047462614430

密着露光装置

発明者： 藤崎 英明 ,  西田 真史 ,  添田 正彦
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-281218
公開番号（公開出願番号）：特開2002-091011
出願日： 2000年09月18日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】 ガラスマスクと基板との良好な密着状態が得られ、短時間で密着を行えるようにする。【解決手段】 環状枠20に固定したガラスマスクMと支持台10上に載置固定した基板B表面の感光剤層Rを真空引きにより密着させるようにした密着露光装置において、環状枠20の上に蓋23を設けてその蓋23とガラスマスクMとの間に真空チャンバー室25が形成されるようにし、さらに支持台10と環状枠20との距離を変えるとともに両者の間を所定の距離に保持する機構26,27を設けた構成とする。ガラスマスクMと基板Bを面中央部から徐々に密着させることができるので、エアー残りが発生することなく大型のガラスマスクでも全面にわたって密着させることができる。また、真空引き時間が通常の密着法に比べて短くなり、作業効率がよくなる。

請求項（抜粋）：

環状枠に固定したガラスマスクと支持台上に載置固定した基板表面の感光剤層を真空引きにより密着させるようにした密着露光装置において、環状枠の上に蓋を設けてその蓋とガラスマスクとの間に真空チャンバー室が形成されるようにし、さらに支持台と環状枠との距離を変えるとともに両者の間を所定の距離に保持する機構を設けたことを特徴とする密着露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 1/14

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  G03F 1/14 B

Fターム (8件)：

2H095BA04 ,  2H095BC27 ,  2H097GA22 ,  2H097GA23 ,  2H097GA27 ,  2H097GA32 ,  2H097LA12 ,  2H097LA17