特許
J-GLOBAL ID：200903047464398203
微小変位装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
近島 一夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-069191
公開番号（公開出願番号）：特開2003-274677
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：
【要約】【課題】 圧電アクチュエータの変位量を変位拡大機構を介して拡大しても、得られる変位量が小さく、特にZ方向の変位を大きくできない。【解決手段】 固定部35とZ方向移動部36とを平行平板の撓み梁41a、41bにて連結し、固定部35と移動部37とを平行平板の撓み梁43a、43bにて連結し、Z方向移動部36と移動部37との間に圧電アクチュエータを配設する。Z方向調整スクリュー7を回転操作して、移動部37をY方向に移動させることにより、圧電アクチュエータ50を介してZ方向移動部36をZ方向に移動させ粗動調整する。圧電アクチュエータ50に所定電圧を印加してZ方向移動部36の微動調整を行なう。Z方向調整スクリュー7の動きを直接Z方向移動部36に伝達することにより、Z方向移動部36の移動範囲を大きくすることが出来る。
請求項（抜粋）：
第1の剛体部と、第2の剛体部と、これらの剛体部を相対的に変位可能に連結する複数の連結部材と、前記第1及び第2の剛体部間に相対的変位を発生する微小変位アクチュエータと、を備えてなる微小変位装置において、前記第1の剛体部に移動自在に移動部を連結し、該移動部と前記第1の剛体部との間に調整スクリューを介在し、前記移動部と前記第2の剛体部との間に、前記微小変位アクチュエータをその駆動方向と前記相対的変位方向とが一致しないようにバイアスして、かつ両端部にそれぞれ回動部を介して連結してなる、ことを特徴とする微小変位装置。
IPC (4件)：
H02N 2/00
, B81B 3/00
, G12B 5/00
, H01L 41/083
H02N 2/00 B
, B81B 3/00
, G12B 5/00 A
, H01L 41/08 N
2F078CA04
, 2F078CB14
, 2F078CB18
, 2F078CC02
