特許

J-GLOBAL ID：200903047470360480

照明光学系

発明者： 森 孝司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-280789
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134247
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】 狭い照明領域や、小さな照明開口数が仕様として与えられたときでも、光源を大電力化することなく、高い照明効率で且つ高い照度で照明領域を照明する。【構成】 水銀ランプ1からの光を集光鏡2の回転楕円面で反射集光し、このように集光された光を用いて補正光学系9により結像点22A上に水銀ランプ1の発光部の実像を結像する。この実像からの光をコリメータレンズ3によりほぼ平行な光束に変換してフライアイレンズ5に供給し、フライアイレンズ5の射出面の多数の光源像からの光でコンデンサーレンズ7を介して照明領域8を照明する。

請求項（抜粋）：

回転楕円面を有する集光鏡と、該集光鏡の第1焦点に配された光源と、前記集光鏡の光軸と同軸に配置され前記光源から射出された後前記集光鏡で反射集光された光をほぼ平行な光束に変換するコリメート光学系と、該コリメート光学系から射出される光束から複数の光源像を生成するオプティカル・インテグレータと、前記複数の光源像からの光を集光して重畳的に被照明体を照明するコンデンサーレンズと、を有する照明光学系において、前記集光鏡の第1焦点に配された光源によって前記集光鏡の光軸上に沿った前記第1焦点近傍から発する光を、前記集光鏡の光軸と直交する所定の平面内に結像して前記光源の実像を形成する補正光学系を、前記集光鏡と前記コリメート光学系との間に配置したことを特徴とする照明光学系。