特許
J-GLOBAL ID:200903047473803390
異物検査装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩野入 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221854
公開番号(公開出願番号):特開2003-035684
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 異物検査装置において、動作中においても装置設定パラメータの変更を可能とし、また、動作中に装置設定パラメータが変更された場合であっても正確な検査数の記録を行う。【解決手段】 検査対象物Sの撮像画像に基づいて異物検査を行う異物検査装置1において、異物検査装置1の各構成部分の装置設定パラメータを変更するパラメータ変更手段4と、装置設定パラメータの変更履歴を記録する変更履歴記録手段8aとを備えた構成とし、変更履歴記録手段8aは、パラメータ変更手段4が各構成部分に対して行う変更指令に基づいて装置設定パラメータの変更履歴を経時的に記録する。
請求項(抜粋):
検査対象物の撮像画像に基づいて異物検査を行う異物検査装置において、異物検査装置の各構成部分の装置設定パラメータを変更するパラメータ変更手段と、前記装置設定パラメータの変更履歴を記録する変更履歴記録手段とを備え、前記変更履歴記録手段は、前記パラメータ変更手段が各構成部分に対して行う変更指令に基づいて装置設定パラメータの変更履歴を経時的に記録する、異物検査装置。
Fターム (14件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA08
, 2G001GA01
, 2G001GA06
, 2G001HA07
, 2G001HA09
, 2G001HA13
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001PA11
, 2G001QA10
引用特許:
出願人引用 (3件)
-
検査システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-228298
出願人:株式会社イシダ
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検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-288807
出願人:株式会社イシダ
-
特開平3-246485
審査官引用 (3件)
-
検査システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-228298
出願人:株式会社イシダ
-
検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-288807
出願人:株式会社イシダ
-
特開平3-246485
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