特許
J-GLOBAL ID：200903047476940836
静電アクチュエータ、情報処理装置および走査型トンネル顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-324964
公開番号（公開出願番号）：特開平7-177763
出願日： 1993年12月22日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】走査トンネル顕微鏡(STM)やSTMの原理を利用した情報処理装置などにおいてプローブを位置制御するために使用され、小さな駆動電圧で大きな変位量を得られる静電アクチュエータを提供する。【構成】固定電極103上に誘電体薄膜104を積層する。空隙106を介して可動片107を配置する。可動片107は、梁121によって回転可能かつ両持ち梁構造に支持されている。固定電極103に電圧を印加することにより静電引力が発生し、可動片107の一端107aが誘電体薄膜104に接触する。この状態で固定電極103への印加電極を上昇させると、可動片107と誘電体薄膜104との接触面積が増加し、これに応じて可動片107に回転力が作用して、可動片107の他端107bが、基板101から離れる方向に変位する。
請求項（抜粋）：
固定電極と、前記固定電極に対して空隙を介して対向配置され導電体からなる可動片と、前記可動片を支持する支持部と、前記固定電極および前記可動片の間に設けられた誘電体薄膜とを有し、前記固定電極に印加される電圧が所定値となった場合に前記可動片の一部が前記誘電体薄膜を介して前記固定電極に接触し、前記固定電極に印加される電圧の変化に応じて前記可動片と前記固定電極との接触部分の面積が増減する静電アクチュエータ。
IPC (5件)：
H02N 1/00
, G11B 9/00
, H01L 21/306
, G01B 7/34
, G01B 21/30
