プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014424
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211734
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】バネ要素、光検出素子などにより構成された検出手段部が微動素子先端に取り付けられた構成からなる原子間力顕微鏡や磁気力顕微鏡といったプロ-ブ顕微鏡のおいて、移動手段(ステ-ジ)を用いて、バネ要素を搭載ブロックと検出手段部間で容易に交換可能な手段を有する構成にしたプロ-ブ顕微鏡の提供を目的とするものである。【解決手段】バネ要素を複数個搭載可能な搭載ブロックを試料移動手段であるステージに設けステージ移動により検出手段部に位置合わせする。検出手段部には磁性板を介してバネ要素を保持する磁石が構成してある。また搭載ブロックには同じく磁性板を介してバネ要素を保持する磁石または真空吸着機構が形成されている。そして、搭載ブロック側の保持力を制御することで、搭載ブロック側と検出手段部側との磁性板に固定されたバネ要素の保持力関係(強弱)を調整しバネ要素を搭載ブロック側と検出手段部側で受け渡しするものである。

請求項（抜粋）：

試料と試料から受ける原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構を3次元的に相対運動させる、粗い位置決め的な粗動機構及び微細な位置決め的な微動機構と、前記試料と前記原子間力及び磁気力等の物理量を検出する機構間を一定の距離に保つ制御手段と、設置環境からくる装置への振動伝達を低減させる除振機構と、装置全体を制御する制御部及びコンピュータを有し、前記物理量を検出する機構を前記微動機構側に配置した構成からなる、試料表面の形状及び状態を観察するプロ-ブ顕微鏡において、前記物理量を検出する機構がバネ要素からなり、前記バネ要素を保持する保持部材を有し、前記バネ要素を直接または部材を介して複数個配置可能とするブロックを装置内に設け、前記試料を3次元的に移動させる移動手段(ステ-ジ)を用いて、前記バネ要素を前記ブロックと前記検出手段部間で交換可能にした構成で、前記ブロックと前記検出手段部間の前記バネ要素を保持する保持力の強度関係を調整することで前記バネ要素を前記ブロックと前記検出手段部間で受け渡しする構成にしたことを特徴とするプロ-ブ顕微鏡。

前のページに戻る