特許
J-GLOBAL ID：200903047489172080
分離ガス供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松川 克明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286523
公開番号（公開出願番号）：特開平9-103636
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】2種以上のガスを含む原料ガスから特定ガスを分離させて外部の各種装置に供給するにあたり、その装置における特定ガスの使用量が大きく変動する場合でも、十分な量の特定ガスを安定して供給でき、またガス送り装置を停止させた後、その運転を再開させた場合でも、当初から所定の高濃度の特定ガスが装置に安定して供給され、ランニングコストも安くなるようにする。【解決手段】ガス送り装置11から2種以上のガスを含む原料ガスをガス分離装置21,22に送って特定ガスを分離させ、この特定ガスを第1収容槽30及び第2収容槽35に供給して収容させ、この第2収容槽から特定ガスを外部に供給すると共に、この第2収容槽における特定ガスの圧力を圧力検知手段36により測定し、その結果に基づき制御装置40によりガス送り装置の運転を制御するようにした。
請求項（抜粋）：
2種以上のガスを含む原料ガスをガス送り装置によりガス分離装置に送り、このガス分離装置により原料ガス中の特定ガスを分離し、分離された特定ガスを第1収容槽に収容させると共に、この第1収容槽から特定ガスを第2収容槽に供給して、この第2収容槽にも特定ガスを収容させ、この第2収容槽から特定ガスを外部に供給すると共に、この第2収容槽における特定ガスの圧力を圧力検知手段により測定し、この圧力検知手段による測定結果に基づいて制御装置により上記ガス送り装置の運転を制御することを特徴とする分離ガス供給方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 53/30
, B01D 53/02 Z
