特許
J-GLOBAL ID：200903047498186868
放射線二次元検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110400
公開番号（公開出願番号）：特開平7-296749
出願日： 1994年04月25日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 入射放射線を効率よく電気信号に変換することができるとともに、大口径化することも容易な薄型の放射線二次元検出器を提供する。【構成】 放射線を二次元分布の電荷に変換するターゲット構造体3と、これを電子ビームeで走査する電子ビーム走査機構4とを備える。電子ビーム走査機構4は複数本の線陰極22を備える。背面電極21と垂直集束電極23a,23bによって、選択された一つの線陰極22から電子ビームeが取り出される。この電子ビームeが、垂直偏向電極24、電子ビーム流制御電極25、水平集束電極26、水平偏向電極27等によって2次元的に走査されることにより、ターゲット構造体3の所定領域の電位分布が読み取られる。以下、線陰極22が順に選択されることにより、ターゲット構造体3の全領域の電位分布が読み取られる。
請求項（抜粋）：
入射した二次元分布の放射線を二次元分布の電荷に変換する変換膜を含むターゲット構造体と、前記ターゲット構造体の放射線入射面と反対側の面を電子ビームで走査することにより、前記ターゲット構造体に生じた二次元的な電位の分布を電気信号として読み出す電子ビーム走査機構とを備え、前記電子ビーム走査機構は、(a)前記ターゲット構造体に対向するようにほぼ等間隔で水平に配置された電子ビーム発生源としての複数本の線陰極と、(b)前記線陰極の後方(前記ターゲット構造体が配置された側と反対側)に、各線陰極に対応して配置された背面電極と、(c)前記線陰極の前方(前記ターゲット構造体が配置された側)に配置され、前記背面電極との間で電位勾配を作ることにより、前記複数本の線陰極の中の選択された一つの線陰極からのみ電子ビームを発生させ、その電子ビームを垂直方向に集束して前方へ押し出す、前記各線陰極に対応して設けられた複数個の垂直集束電極と、(d)前記垂直集束電極を通過した電子ビームを垂直方向に偏向する、前記各線陰極に対応して設けられた複数個の垂直偏向電極と、(e)前記垂直偏向電極を通過した電子ビームに作用して、前記電子ビームの経路を水平ラインに沿って順に切り換える複数個の電子ビーム流制御電極と、(f)前記電子ビーム流制御電極を通過した電子ビームを水平方向に偏向する、前記電子ビーム流制御電極に対応して設けられた複数個の水平偏向電極と、(g)前記水平偏向電極を通過した電子ビームを前記ターゲット構造体の方向へ引き込む加速電極と、(h)前記加速電極を通過した電子ビームをターゲット構造体の手前で減速させる減速電極と、を備えたことを特徴とする放射線二次元検出器。
IPC (6件)：
H01J 31/49
, G01T 1/00
, G01T 1/29
, G03B 42/02
, H04N 5/32
, H04N 7/18
