特許

J-GLOBAL ID：200903047498625195

液浸リソグラフィー用投影対物レンズ

発明者： カール・シュテファン ヴァイッセンリーダー ,  アレキサンダー ヒルネット ,  アレキサンダー パツィディス ,  カール・ハインツ シュースター ,  クリストフ ツァツェック ,  ミヒャエル リル ,  パトリック シャイブル ,  ハラルド シンク ,  マルクス ブロットザック ,  ウルリッヒ ローリング ,  トラルフ グルーナー
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-358056
公開番号（公開出願番号）：特開2005-202375
出願日： 2004年12月10日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：

【課題】 液浸リソグラフィーに適するとともに、浸液と長期的に接触しても安定した結像品質を有する投影対物レンズを提供する。【解決手段】 自身の物体平面内に配置されるパターンを自身の像面に、光路上における自身の最後の光学素子と前記像面との間において配置される浸液媒体を利用して結像させる投影対物レンズにおいて、前記最後の光学素子は、透明な基板と、該基板に取り付けられるとともに、前記浸液媒体との接触用に設けられ、かつ前記浸液媒体によって引き起こされる劣化に対する前記最後の光学素子の耐性を高める役割を果たす保護層システムとを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

自身の物体平面内に配置されるパターンを自身の像面に、自身の光学素子と前記像面との間において配置される浸液媒体を利用して結像させる投影対物レンズにおいて、 透明基板と、該透明基板に取り付けられる保護層システムとを有する前記光学素子は、前記浸液媒体との接触用に設けられるとともに、前記浸液媒体によって引き起こされる劣化に対する前記光学素子の耐性を高める役割を果たす投影対物レンズ。

IPC (4件)：

G02B21/02 ,  G02B1/10 ,  G02B1/11 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G02B21/02 Z ,  G02B1/10 A ,  G02B1/10 Z ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 516F

Fターム (21件)：

2H087KA09 ,  2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087QA07 ,  2H087QA13 ,  2H087QA33 ,  2H087RA42 ,  2H087UA03 ,  2H087UA04 ,  2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009CC21 ,  2K009DD04 ,  2K009DD16 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 国際特許出願第03/077036号
  
• 国際特許出願第03/077037号
  
• 米国特許第4,480,910号
  
• 米国特許第5,610,683号
  
• 欧州特許第0 605 103号
  
• 軸受機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-303114   出願人：オリジン電気株式会社

審査官引用 (1件)

• グランド埋め込み用部材及びその施工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-162168   出願人：長谷川体育施設株式会社, 早川ゴム株式会社