特許
J-GLOBAL ID：200903047503152721
プレカーサを用いた化学蒸着
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 邦彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-526268
公開番号（公開出願番号）：特表平10-503242
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：
【要約】本発明は、半導体フィルムを形成する液体源CVD(LSCVD)を含む化学蒸着(CVD)に適した、固体プレカーサ又は液体プレカーサのいずれかのプレカーサを用いる方法である。本発明の方法を用いると、プレカーサは溶媒に溶解される。この溶媒は、室温において極端に高い蒸気圧とならず、かつ、圧力と冷却との組合わせにより液体化可能な無機化合物から通常選択される。次いでこのように形成された溶液は、高圧力及び/又は低温でCVDチャンバに送られる。CVDでは、溶液はチャンバの入口において高温かつ低圧下に蒸発し、プレカーサは気体状で反応気体と共に、半導体ウェーハ上に薄膜として蒸着する生成物を生成する。LSCVDでは、液体がチャンバに入り、ウェーハと接し、蒸発し、ウェーハ面上に薄膜として蒸着する生成物を生成する。
請求項（抜粋）：
a)無機溶媒中にプレカーサを溶解して液体溶液を形成する段階と、b)該液体溶液をチャンバに移送する段階と、c)該チャンバ中の前記液体溶液を蒸発させて、前記プレカーサを蒸気状態に変化させる段階と、d)該プレカーサ蒸気によって製造工程にある材料面にフィルムを蒸着させる段階とからなる、製造工程にある材料面に化学蒸着フィルムを形成する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 C
, H01L 21/205
