特許
J-GLOBAL ID：200903047504104860
FIB加工装置における傾斜像シフトの補正方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055420
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267482
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【構成】イオンビーム照射系(1,2)と、X,Y軸駆動系6,Z軸駆動系7、及び傾斜軸駆動系5を備えたステージ3と、その位置検出器9と、これらを制御する制御計算機4とから構成され、標準マーク試料をステージに固定し、予め特定の2つの傾斜角に対し位置座標を求め、これを元に傾斜中心軸座標を生成する傾斜補正用データ生成器10と、当該データに基づいて、任意傾斜角に対する観察点の傾斜写像を求め、像シフト量を算出し、ステージの駆動系とイオンビーム照射系の少なくとも一方にフィードバックする傾斜補正器8を新たに備えた。【効果】単一イオン源からのイオンビームで試料を断面観察時に、加工角度と観察角度を、繰り返し往復時のステージ微動の煩わしい操作を不要とし、操作性の向上が図れる。
請求項（抜粋）：
試料面を走査照射するイオンビーム照射系と、当該試料を固定し任意領域を加工及びその断面観察を実施するX,Y軸駆動系,Z軸駆動系,Y軸に平行な傾斜軸の駆動系を備えたステージと、当該各軸駆動系の現在位置を読み取る位置検出器と、これらを制御する制御計算機とから構成される集束イオンビーム(FIB)加工装置において、予め特定の2つの傾斜面に対する標準マークの位置座標データを求め、当該実測データを元に傾斜中心軸の座標を生成する傾斜補正用データ生成器と、当該傾斜補正用データに基づいて、任意傾斜角に対する観察点の傾斜写像位置座標を求め、観察点の傾斜に伴う像シフト量を算出し、当該像シフト量を傾斜の補正量として、ステージのX及びZ軸駆動系、該イオンビーム照射系の少なくとも一方にフィードバックする傾斜補正器を備え、傾斜に伴う観察点の像シフトを無くしたことを特徴とするFIB加工装置における傾斜像シフトの補正方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
