特許
J-GLOBAL ID：200903047513627167
固体撮像装置用マイクロレンズの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-355369
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188399
出願日： 1992年12月21日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 固体撮像装置上に直接形成する固体撮像装置用マイクロレンズの製造方法において、フォトリソグラフィー工程時における合わせずれの発生を阻止する。【構成】 光電変換部2,Al金属膜3,パッシベーション膜4を形成た半導体基板1上に平坦層5を設けたのち、平坦層5上にネガ特性を有し且つ赤外波長光に感度を有する熱軟化型樹脂膜6を形成する。次いで半導体基板1の背面からAl金属膜3をマスクとして露光を行い、光電変換部2上に樹脂膜6からなるレンズパターン7aを自己整合的に形成し、次いでレンズパターン7aを熱処理して凸型マイクロレンズ7bを形成する。
請求項（抜粋）：
固体撮像装置上に直接形成する固体撮像装置用マイクロレンズの製造方法において、受光面に受光域と該受光域以外を遮光する遮光膜を有する半導体基板の受光面に、熱軟化型の透明樹脂膜を形成する工程と、前記半導体基板の遮光膜をマスクとして前記透明樹脂膜を受光域上に残存するように自己整合的に露光・現像する工程と、受光域上に残存した透明樹脂膜を加熱溶融し、凸レンズ形状に形成する工程とからなることを特徴とする固体撮像装置用マイクロレンズの製造方法。
IPC (2件)：
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