特許
J-GLOBAL ID：200903047516166462
チャンバの洗浄方法及び洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-116541
公開番号（公開出願番号）：特開平6-304465
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：
【要約】【目的】 チャンバ分解等の必要がなく、簡単にチャンバ内壁に付着した汚れ等を非接触で除去することのできる洗浄方法及び洗浄装置を提供する。【構成】 真空又は常圧で使用するチャンバ1内に、マイクロ波3を導入し、該マイクロ波3によってチャンバ内壁2に付着した汚れ5を焼滅することによって除去する。
請求項（抜粋）：
真空又は常圧で使用するチャンバ内に、マイクロ波を導入し、該マイクロ波によってチャンバ内壁に付着した汚れを焼滅することによって除去することを特徴とするチャンバの洗浄方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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