特許

J-GLOBAL ID：200903047520445899

基板検査装置

発明者： 市瀬 達雄
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-076947
公開番号（公開出願番号）：特開2006-258631
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】 基板の欠陥を検出する基板検査装置において、精度の高い基準画像データを取得でき、基準基板の製造を容易に行うことができるようにする。【解決手段】 基板Tを水平状態に支持するステージ部5,6と、前記基板Tを前記ステージ部5,6の表面5a,6aに沿って一方向に搬送する搬送機構7と、前記搬送方向に直交する略直線状の照射光を前記基板Tの表面Taの照射領域に照射するライン照明ユニット23と、前記照射領域からの反射光を受光して撮像するカメラユニット24と、前記照射領域に対してその長手方向に移動可能な基準ユニット27と、該基準ユニット27に設けられ、前記照射領域を通過する表面に基準パターンを形成したキャリブレーション用の基準基板とを備える基板検査装置1を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

表面にパターンを形成した基板を水平状態に支持するステージ部と、 前記基板を前記ステージ部の表面に沿って一方向に搬送する搬送機構と、 前記搬送方向に直交する略直線状の照射光を前記基板の表面の照射領域に照射するライン照明ユニットと、 前記照射領域からの反射光を受光して撮像するカメラユニットと、 前記照射領域に対してその長手方向に移動可能な基準ユニットと、 該基準ユニットに設けられ、前記照射領域を通過する表面に基準パターンを形成したキャリブレーション用の基準基板とを備えることを特徴とする基板検査装置。

IPC (6件)：

G01N 21/93 ,  G01N 21/956 ,  G02F 1/13 ,  G09F 9/00 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (6件)：

G01N21/93 ,  G01N21/956 Z ,  G02F1/13 101 ,  G09F9/00 352 ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B

Fターム (25件)：

2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA05 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088FA20 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088HA21 ,  2H088MA20 ,  5C027AA01 ,  5C040GC19 ,  5C040JA26 ,  5C040JA34 ,  5C040MA24 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特公平5-11257号公報(第1図)