ステージ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-062246
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264413
出願日： 1995年03月22日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】被加工物が載置されるステージ装置における歪みや変形を抑える。【構成】 XY方向に移動自在なX軸ステージ上にX軸ステージ上に固定された支持棒29aが遊嵌する開口部40aを設けた試料台26を配置する。支持棒29aの上部は開口部40aより上に突き出ており、支持棒29aの先端にX方向及びY方向に45°で交差する方向に伸びた2枚の板ばね41a,42aから構成される十字状の板ばね27aを固定する。更に、板ばね27aの長辺方向の両端を試料台26に下部が固定された長方体のフレキシャー33a,33cに固定する。フレキシャー33aの開口部40aに向かう面及びそれと交差する両側の面にすり割り部43a及び43c,43dを形成し、試料台26の移動に伴う板ばね27aにかかるX方向及びY方向の変形応力を吸収する。

請求項（抜粋）：

被加工物が載置される載置台の高さ、及び傾斜角の少なくとも一方を調整するステージ装置において、前記載置台を支持するためのベース部材と、前記載置台と前記ベース部材とを連結するために、前記載置台と前記ベース部材とに固定された板ばね部材と、前記載置台の高さ、及び傾斜角の少なくとも一方を調節するために、前記ベース部材に対して前記載置台を変位させる駆動手段と、前記載置台と前記板ばね部材との固定部分、及び前記ベース部材と前記板ばね部材との固定部分との少なくとも一方に設けられ、他方の固定部分に対向する側に可撓性を有する第1弾性部材と、を具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 511 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 526 Z

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