特許

J-GLOBAL ID：200903047531171561

X線小角散乱装置

発明者： 岩崎 吉男 ,  大神田 等
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-300685
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119906
出願日： 1995年10月25日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】 ポイントフォーカスの小角散乱測定を行う場合に、寄生散乱X線の少ない良好なダイレクトビームを試料へ照射できるようにする。【解決手段】 X線源Fから放射されたX線を平行X線ビームに成形する第1スリット1及び第2スリット2と、第2スリット2で発生する寄生散乱X線の進行を阻止しながら平行X線ビームを試料へ導く第3スリット3と、試料Sから発生する被測定散乱X線を検出するX線検出器4とを有するX線小角散乱装置である。第1スリット1、第2スリット2及び第3スリット3を丸穴に形成することによりポイントフォーカスのX線ビームを取り出す。そして、第3スリット3をX線進行方向に対して平行方向(X-X方向)に位置調整することにより、第3スリット3を第2スリットからの寄生散乱X線を除去できる位置に配置する。

請求項（抜粋）：

X線源から放射されたX線を平行X線ビームに成形する第1スリット及び第2スリットと、第2スリットで発生する寄生散乱X線の進行を阻止しながら平行X線ビームを試料へ導く第3スリットと、試料から発生する被測定散乱X線を検出するX線検出器とを有するX線小角散乱装置において、第1スリット、第2スリット及び第3スリットを丸穴形状に形成し、さらに第3スリットの位置をX線の進行方向に対して平行方向に調整するスリット位置調整手段を設けたことを特徴とするX線小角散乱装置。