特許
J-GLOBAL ID：200903047541027280
照明光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219782
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053120
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 複数傾斜照明を行う場合に、レチクルのパターンがその照明光の入射面に垂直な方向を長手方向とするライン・アンド・スペースパターンであるようなときに、その像のコントラストを改善する。【構成】 2次光源形成部としての空間フィルター24の4個の開口24a〜24dをそれぞれ偏光板25A〜25Dで覆い、偏光板25A〜25Dの偏光方向を光軸AXを軸とする円周の接線方向に設定する。
請求項（抜粋）：
照明光学系からの照明光によって物体上の所定領域を均一に照明する照明光学装置において、前記照明光学系は、前記所定領域を斜め方向から照明する傾斜光を形成する傾斜光形成手段と、該傾斜光を変換して、前記所定領域を傾斜照明する前記傾斜光の入射面に対し直交した方向に直線偏光する照明光を形成する偏光手段とを有することを特徴とする照明光学装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
