特許

J-GLOBAL ID：200903047541504674

半導体デバイス等の製造装置と製造方法、ならびに電力供給システム

発明者： 青木 修司 ,  今井 俊三
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081379
公開番号（公開出願番号）：特開平11-285167
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体等の製造装置を安全に緊急停止させることができ、停電時には短時間に自動復帰して生産性の向上を図ることが出来るシステムの提供。【解決手段】 緊急停止スイッチによる緊急停止回路を備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断を切り替える第1電磁開閉器と、該第1電磁開閉器の電磁コイルへの給電を制御する第2電磁開閉器とを備え、該第1電磁開閉器の電磁コイルには該第1電磁開閉器の一次側から給電され、該第2電磁開閉器の電磁コイルには該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッチは該第2電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中に設けられている。停電によって製造装置が稼動停止した場合は、復電後に装置を自動再起動させる。

請求項（抜粋）：

緊急停止スイッチによる緊急停止回路を備えた製造装置であって、装置への電力の供給と遮断を切り替える第1電磁開閉器と、該第1電磁開閉器の電磁コイルへの給電を制御する第2電磁開閉器とを備え、該第1電磁開閉器の電磁コイルには該第1電磁開閉器の一次側から給電され、該第2電磁開閉器の電磁コイルには該緊急停止回路を介して給電され、該緊急停止スイッチは該第2電磁開閉器の電磁コイルへの給電ライン途中に設けられていることを特徴とする製造装置。

IPC (2件)：

H02J 9/06 502 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H02J 9/06 502 E ,  H01L 21/02 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-008113
  
• 特開昭62-250814
  
• 電動機制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-007860   出願人：富士電機株式会社