特許

J-GLOBAL ID：200903047546947981

変形照明用可変式アパーチャ、露光装置およびパターン形成方法

発明者： 山田 哲也 ,  中江 彰宏 ,  坂井 淳二郎 ,  辻田 好一郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-001008
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195592
出願日： 1998年01月06日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 交換の手間をかけずに種々のパターンに適用できる変形照明用のアパーチャ、露光装置およびパターン形成方法を得る。【解決手段】 金属板7を重ね合わせて帯形状の中央遮蔽部6を構成する。その両端には端遮蔽部8を配置する。第1、第2のつまみ11、12を回すことにより、中央遮蔽部6の幅Aおよび端遮蔽部8の相互間隔Bが変化する。これにより、中央遮蔽部6と端遮蔽部8の間に幅寸法可変のスリット9を有する可変式アパーチャ5が得られ、一つの可変式アパーチャ5で種々のパターンの露光に適用できる。

請求項（抜粋）：

両縁が直線の帯形状で幅が可変の中央遮蔽部と、この中央遮蔽部の両側に配置され、上記中央遮蔽部の縁に平行な直線の縁を有して上記中央遮蔽部の方向に移動可能な端遮蔽部と、上記中央遮蔽部および端遮蔽部を支持する外枠とを備え、上記中央遮蔽部と端遮蔽部の間に幅寸法可変の2つのスリットを形成するようにしたことを特徴とする変形照明用可変式アパーチャ。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 541 B ,  G03F 7/20 521